激光誘導(dǎo)損傷閾值（laser-induced damage threshold，LIDT）定義為：推測的光學(xué)器件損傷概率為零的最高激光輻射量。LIDT為避免光學(xué)元件/器件在正常使用時受到損傷提供參考。實(shí)際測量的LIDT數(shù)據(jù)只能作為同批次產(chǎn)品的參考，不能認(rèn)為低于此值絕對不會發(fā)生光學(xué)器件損傷。樣品的測試點(diǎn)數(shù)量、樣品數(shù)量和光束直徑都是影響測試結(jié)果的重要因素。通常脈沖光源以J/cm2為單位，連續(xù)光源以W/cm2或W/cm（也稱為平均線功率密度）為單位。

　　高功率應(yīng)用領(lǐng)域常見的強(qiáng)度分布主要包括Gaussian和Top-hat光強(qiáng)度分布，激光光束強(qiáng)度指的是單位面積的光功率。Top-hat光在光束橫截面上的光強(qiáng)分布是相對均勻的，而Gaussian光是橫向電場以及輻照度分布近似滿足高斯函數(shù)的光束，其強(qiáng)度分布類似高斯函數(shù)。Gaussian光束的最大能量密度約為具有相同光功率的Top-hat光束的兩倍，如圖1所示。

　　圖1.相同功率Gaussian與Top-hat光的比較。

　　關(guān)于連續(xù)波激光光源

　　關(guān)于CW LIDT需要了解激光器的波長、光束直徑和強(qiáng)度分布（Gaussian或Top-hat）。關(guān)于CW LIDT的計(jì)算主要有兩種：一種為單位面積的光功率（W/cm2），另一種為平均線功率密度（W/cm）。

　　假設(shè)使用一臺60 mW, 532 nm 的Nd:YAG激光器，光斑直徑為2 mm，則其平均功率密度為：

　　由圖1可知，Gaussian光束最大功率密度約為均勻光束平均功率密度的兩倍，所以其最大平均功率密度約為：3.82 W/cm2。

　　同樣條件下其平均線功率密度為：

　　由圖1可知，Gaussian光束最大功率密度約為均勻光束平均功率密度的兩倍，所以其最大線功率密度約為：0.6 W/cm。

　　關(guān)于脈沖激光光源

　　關(guān)于脈沖激光光源LIDT需要了解激光器的波長、光束直徑、重復(fù)頻率、脈沖寬度和強(qiáng)度分布（Gaussian或Top-hat）。脈沖激光光源的LIDT一般以J/cm2為單位。

　　假設(shè)使用一臺高功率固體脈沖激光器，其波長1064 nm，單脈沖能量為1 J，重復(fù)頻率50 Hz，光斑直徑為2 cm，則其單脈沖平均能量密度為：

　　由圖1可知，Gaussian光束最大功率密度約為均勻光束平均功率密度的兩倍，所以其最大單脈沖能量密度為：0.64J/cm2。

　　有些情況下需要對功率和能量單位之間進(jìn)行換算（1W=1J/s），假設(shè)高功率固體脈沖激光器波長1064 nm，平均功率為50W，重復(fù)頻率50 Hz，光斑直徑為2 cm，其單脈沖能量為：

　　常見的光學(xué)元件損傷原因

　　光學(xué)元件類產(chǎn)品種類龐大復(fù)雜，對于LIDT的分析可以把光學(xué)元件大致分為如下三類：鍍膜類；基片類；膠合類。激光器對光學(xué)元件的損傷一般是對鍍膜、光學(xué)元件基底和膠合光學(xué)元件的膠合劑的損傷。

　　膠合類透鏡CW LIDT較低，例如LBTEK提供的400 nm-700 nm消色差雙膠合透鏡的CW LIDT在1.02 kW/cm(波長532 nm，光斑直徑1.0 mm)，而同樣工作波長下的平凸、雙凸透鏡紫外熔融石英透鏡的CW LIDT最高可達(dá)2.33 kW/cm(波長532 nm，光斑直徑1.0 mm)。

　　高功率應(yīng)用場景中，光學(xué)元件損傷的原因往往是具有多樣性的。典型的激光損傷光學(xué)元件的類型包括：熱損傷；介質(zhì)擊穿；光學(xué)元件表面缺陷局域光場增強(qiáng)損傷等。在一般的實(shí)驗(yàn)過程中，除了光學(xué)元件本身LIDT不能承受入射光能量外，光學(xué)元件表面潔凈度不夠（灰塵或其他物質(zhì)附著）也是導(dǎo)致光學(xué)元件損傷的重要原因。