德國(guó)亞琛，2013年／8月／22日— AIXTRON愛(ài)思強(qiáng)股份有限公司宣布，中國(guó)領(lǐng)先光學(xué)元器件開(kāi)發(fā)生產(chǎn)商武漢華工正源光子技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱“華工正源”）已訂購(gòu)一套AIXTRON愛(ài)思強(qiáng)6x2英寸規(guī)格近耦合噴淋頭®(CCS)外延沉積系統(tǒng)，用以在磷化銦襯底上生產(chǎn)發(fā)光及檢測(cè)設(shè)備。

華工正源首席科學(xué)家王肇中表示：“此次再度訂購(gòu)說(shuō)明我們非常滿意AIXTRON愛(ài)思強(qiáng)技術(shù)性能。我們現(xiàn)有的系統(tǒng)功能多樣、易于操作且可重復(fù)性優(yōu)良。購(gòu)進(jìn)新系統(tǒng)后，我們將能實(shí)施產(chǎn)能擴(kuò)張計(jì)劃，并開(kāi)發(fā)高質(zhì)量的外延產(chǎn)品。我們對(duì)再次順利擴(kuò)大產(chǎn)能以及AIXTRON愛(ài)思強(qiáng)服務(wù)團(tuán)隊(duì)卓越的支持、安裝和操作服務(wù)充滿期待。”

華工正源是中國(guó)擁有外延生長(zhǎng)、管芯制作、器件、光學(xué)模塊和子系統(tǒng)批量生產(chǎn)全套工藝生產(chǎn)線的制造商之一。產(chǎn)品范圍涵蓋半導(dǎo)體激光器、探測(cè)器管芯、有源器件和收發(fā)器，廣泛應(yīng)用于數(shù)字通訊、模擬通訊和光學(xué)傳感器領(lǐng)域。

AIXTRON愛(ài)思強(qiáng)6x2英寸規(guī)格CCS系統(tǒng)專為研究和生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。使用CCS系統(tǒng)開(kāi)發(fā)的過(guò)程可以很容易地?cái)U(kuò)展至較大規(guī)模生產(chǎn)的CRIUS®平臺(tái)上。CCS的三個(gè)分區(qū)加熱器能提供最佳的溫度均勻性標(biāo)準(zhǔn)。