激光管主要由硬質(zhì)玻璃、諧振腔、電極三部分組成。
1.硬質(zhì)玻璃部分;本部件由GG17料燒制成放電管、水冷套、儲(chǔ)氣套和回氣管而組成。封離式CO2激光器通常為三層套管結(jié)構(gòu)。最里面的是放電管,中間是水凈套,最外一層是儲(chǔ)氣套,回氣管是用于連通放電管和儲(chǔ)氣管。
2.諧振腔部分:本部件由全反鏡和輸出反射鏡組成。諧振腔的全反鏡一般以光學(xué)玻璃為基底,表面渡金膜,金膜反射鏡在10.6um附近的反射率達(dá)98%以上;諧振腔的輸出反射鏡一般采用能透射10.6um輻射的紅外線材料鍺(Ge)為基底,在上面渡上多層介質(zhì)膜而制成。
3.電極部分:CO2激光器一般采用冷陰極,形狀為圓筒形,陰極材料選用對激光器的壽命有很大的影響,對陰極材料的基本要求是:濺射率低,氣體吸收率小,
對于co2激光打標(biāo)機(jī)而言,激光管的質(zhì)量和性能直接影響到co2激光打標(biāo)機(jī)的工作效率,這也是co2激光打標(biāo)機(jī)最重要的部分之一。一般co2激光打標(biāo)機(jī)激光器常用硬質(zhì)玻璃制成,一般采用層套筒式結(jié)構(gòu)。最里面一層是放電管,第2層為水冷套管,最外一層為儲(chǔ)氣管。二氧化碳激光器放電管直徑比He-Ne激光管粗。放電管的粗細(xì)一般來說對輸出功率沒有影響,主要考慮到光斑大小所引起的衍射效應(yīng),應(yīng)根據(jù)管長而定。管長的粗一點(diǎn),管短的細(xì)一點(diǎn)。放電管長度與輸出功率成正比。在一定的長度范圍內(nèi),每米放電管長度輸出的功率隨總長度而增加。加水冷套的目的是冷卻工作氣體,使輸出功率穩(wěn)定。
放電管在兩端都與儲(chǔ)氣管連接,即儲(chǔ)氣管的一端有一小孔與放電管相通,另一端經(jīng)過螺旋形回氣管與放電管相通,這樣就可使氣體在放電管中與儲(chǔ)氣管中循環(huán)流動(dòng),放電管中的氣體隨時(shí)交換。被廣泛適用于亞克力、塑料產(chǎn)品等非金屬打標(biāo)、雕刻;并且發(fā)展到對電鍍低碳鋼打標(biāo)的能力。CO2激光器還被用在自動(dòng)化系統(tǒng)中對電子儀器的柔性電路板和膜片的聚酰亞胺和聚酯薄板。
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