氦氖激光器由于具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、放電平穩(wěn)、單色性高、光束質(zhì)量好、功率噪聲低、臺(tái)與臺(tái)重復(fù)性好、相干長(zhǎng)度能達(dá)幾公里等特點(diǎn)，獲得了檢測(cè)之王的美譽(yù)。

　　氦氖激光器的輸出譜線從綠光一直延伸到近紅外光，由于紅光在所有的可見(jiàn)光譜線中增益最強(qiáng)，因此最先獲得商品化，而綠光在氦氖激光器的所有可見(jiàn)光譜線中增益最低，僅為紅光增益的幾十分之一，所以它的商品化遲遲未獲得成功，其中最大的困難是研制能抑制其它譜線的極低損耗綠光反射鏡。

　　相對(duì)于紅光氦氖激光器而言，綠光氦氖激光器具有三個(gè)獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)：一是人的視覺(jué)對(duì)綠光最敏感，因此在準(zhǔn)直、監(jiān)測(cè)、顯示和藝術(shù)布景等應(yīng)用中選用綠光具有優(yōu)勢(shì)，同時(shí)由于紅光易于血液混淆，綠光氦氖激光器更適合激光醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用；二是氦氖綠光譜線的波長(zhǎng)較短，且具有很好的穩(wěn)定性與再現(xiàn)性，因此在長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)、相干測(cè)量、粒子計(jì)數(shù)、激光打印、指紋檢驗(yàn)等領(lǐng)域比紅光更具有優(yōu)勢(shì)；三是由于綠光在海水中的損耗遠(yuǎn)低于紅光，綠光氦氖激光器在水中照明、深海通信等領(lǐng)域具有潛在的應(yīng)用前景。

　　美國(guó)經(jīng)過(guò)二十多年的研究，將激光陀螺的鍍膜技術(shù)推廣到多色氦氖激光器的反射鏡制備，終于在1985年推出了全內(nèi)腔綠光氦氖激光器產(chǎn)品，一年后德國(guó)也推出了相關(guān)產(chǎn)品。俄羅斯亦曾研制過(guò)全內(nèi)腔綠光氦氖激光器，由于“技術(shù)太復(fù)雜”，沒(méi)有成功。我國(guó)多家單位在1987年也實(shí)現(xiàn)綠光氦氖激光振蕩，但都是外腔式結(jié)構(gòu)，不便在實(shí)際使用。雖然之后經(jīng)多個(gè)單位努力攻關(guān)，但一直沒(méi)有實(shí)現(xiàn)全內(nèi)腔氦氖激光器的綠光輸出，更談不上商品化。

　　國(guó)防科技大學(xué)在研制激光陀螺的過(guò)程中，對(duì)其中的頭號(hào)關(guān)鍵技術(shù)薄膜光學(xué)進(jìn)行了長(zhǎng)期深入的理論研究與工藝摸索，設(shè)計(jì)出了全內(nèi)腔綠光氦氖激光器反射鏡的多層膜結(jié)構(gòu)方案，并研制了專門的測(cè)量?jī)x器紅外DF透反儀，做好了充足準(zhǔn)備。終于在1994年，激光陀螺反射膜的攻關(guān)取得重大突破，在積累相當(dāng)?shù)墓に嚱?jīng)驗(yàn)后，立即用相同的鍍膜工藝，按理論設(shè)計(jì)方案制備極低損耗的綠光反射鏡，一舉研制出全內(nèi)腔綠光氦氖激光器，其主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，使我國(guó)成為繼美、德之后第三個(gè)擁有這種高性能激光器制造技術(shù)的國(guó)家。