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電子加工新聞

固體激光材料與固體激光器的發(fā)展及應(yīng)用

星之球科技 來源:中國百科網(wǎng)2016-08-29 我要評論(0 )   

1、前 言  與氣體激光器相比,半導(dǎo)體泵浦固體激光器具有體積小、重量輕、供電簡單、結(jié)構(gòu)緊湊、便于攜帶、便于維護和操作等優(yōu)點

 1、前 言
  與氣體激光器相比,半導(dǎo)體泵浦固體激光器具有體積小、重量輕、供電簡單、結(jié)構(gòu)緊湊、便于攜帶、便于維護和操作等優(yōu)點。現(xiàn)在已用作手術(shù)治療、肌肉組織焊接、牙科治療、光鎮(zhèn)痛和光針灸等領(lǐng)域。2μm波段恰恰處于水分子的吸收峰,輸出波長為 2μm的固體激光器是激光手術(shù)的最佳波長。與通常的Nd:YAG激光(1.064μm)相比,人體對2μm激光的吸收效果更好,激光切割能力大大提高,尤其對敏感組織,如肝、胃、結(jié)腸等軟組織的燒蝕利切割效果更加理想。此外石英光纖還可以傳播2μm激光,這使得激光傳導(dǎo)更加容易。目前半導(dǎo)體激光器泵浦的Ho∶YLF 2.12μm激光器已做成結(jié)構(gòu)緊湊、維護容易、便攜式的醫(yī)用器械。雖然2μm激光器有著如此廣泛而重要的應(yīng)用前景,并且在相應(yīng)領(lǐng)域已經(jīng)得到了大范圍的應(yīng)用,但是對于二極管泵浦2μm固體激光器深入的研究并不是伴隨著激光器的產(chǎn)生而開始的,其間經(jīng)歷了漫長的過程。
 
  2、國外2μm波段固體激光材料及激光器的發(fā)展狀況
 ?。?)Ho:YAG激光器
  1965年Bell實驗室Johnson等人首先報道了Ho:YAG在液氮溫度下實現(xiàn)振蕩[1],使用的晶體用熔鹽法生長,晶體長度25mm,輸出三種不同的激光波長。輸出波長2.0975μm時,脈沖閾值為44J;輸出波長2.0914μm時,脈沖閾值為1760J;輸出波長2.1223μm時,脈沖閾值為410J。高閾值限制了Ho:YAG的應(yīng)用。
 ?。?)Er,Tm,Ho:YAG激光器
  Ho:YAG激光器泵浦效率低是由于Ho3+在YAG中只有幾條弱吸收線。為了增加對燈泵能量的吸收,1966年Johnson等人采用Er3+和Tm3+來敏化Ho3+,由于它們吸收和傳遞泵浦能量,液氮溫度下得到了5%的閃光燈泵浦效率和15W的連續(xù)激光輸出[2]。1975年, Beck等人報道了直徑4mm,長度70mm的晶體在液氮溫度下連續(xù)輸出50W,斜率效率6.5%,使用鎢鹵素?zé)糇鞅闷衷碵3]。1981年Barnes等人在液氮溫度下實現(xiàn)了脈沖激光振蕩和放大,TEM00模輸出112mJ,斜率效率1.2%,放大輸出235mJ。晶體直徑4mm,長度56mm,晶體中Ho3+、Tm3+、Er3+和Y3+分別占0.021、0.037、0.616和0.326[4]。
 ?。?)Tm,Ho:YAG激光器
  1987年Fan等人報道了用波長為781.5二極管激光器泵浦Tm,Ho:YAG獲得室溫連續(xù)輸出,閾值4.4mW,斜率效率19%,輸出波長2.074μm [5]。1990年Stoneman等人實現(xiàn)了Tm,Ho:YAG在2.09~2.12范圍連續(xù)可調(diào)諧激光輸出。晶體用引上法生長,Tm3+和Ho3+的含量分別為8.3×1020cm-3和6.9×1019cm-3。
 ?。?)Cr,Tm,Ho:YSGG激光器
  1986年Alpatev研制出Cr,Tm,Ho:YSGG(釔鈧石榴石)激光晶體,并獲得室溫?zé)舯闷置}沖輸出能量7.4J,斜率效率3.1%,輸出波長2.088μm,并于1988年實現(xiàn)開關(guān)運行[6]。其中晶體直徑4mm,長度76mm,晶體中Cr3+、Tm3+、Ho3+的含量分別為2.5×1020cm-3、8×1020cm-3、5×1019cm-3。在室溫下獲得80mJ的電光調(diào)輸出,此時的泵浦輸入為125J,調(diào)閾值為60J。在轉(zhuǎn)鏡調(diào)時,獲得280mJ的多峰光脈沖,500的總寬度,脈沖中含5~6個峰,峰-峰間隔2μm,每個峰半寬度為40~50。
 ?。?)Cr,Tm,Ho:YAG激光器
  1988年ST Systems公司的Mark E.Storm 采用單橢圓腔,Cr3+、Tm3+、Ho3+濃度分別為2.7at%、5.8at%、0.36at%。晶體直徑5mm,長度53mm。閃光燈內(nèi)徑4mm,閃光燈弧長50mm,閃光燈脈寬600us,全反鏡曲率半徑10m,輸出鏡透過率85%。在溫度295K時,激光閾值25J,斜率效率2.3%[7]。
  1989年美國海軍研究實驗室的G.J.Quarles等人采用67mm鍍銀橢圓腔和69mm漫反射腔,晶體直徑5mm,長度76.2mm,Cr3+、Tm3+、Ho3+濃度分別為7.7×1019cm-3、8.0×1020cm-3、5.0×1019cm-3,氙燈充氣壓630Torr,閃光燈內(nèi)徑4mm,閃光燈弧長63.5mm,閃光燈脈寬540us,諧振腔長度為300mm,全反鏡曲率半徑為1m,輸出鏡透過率小于75%,輸出波長為2.097μm。使用漫反腔得到了4.7%斜效率,閾值70J。使用鍍銀腔得到了5.1%斜效率,閾值38J[8]。同時從理論和實驗上證明了YAG是Cr,Tm,Ho:YAG最好基質(zhì),Cr3+→Tm3+能量傳遞效率YAG高于YSAG和YSGG。
  1990年T.Becker等人報道了Cr,Tm,Ho:YAG激光器重頻30Hz時的輸出特性。Cr3+、Tm3+、Ho3+濃度分別為2at%、5at%和0.5at%。晶體直徑分別為2.8mm、4mm和5mm,晶體長度為56mm,諧振腔腔長300mm,全反鏡半徑1m,輸出鏡透過率15%。閃光燈內(nèi)徑為4mm,弧長76mm,放電脈寬500μm。在20oC時,直徑2.8mm晶體的效率比其它兩種高,在重頻21Hz時,斜效率1.6%,同時獲得了6.5W的輸出;在重頻30Hz時,得到2W輸出。
  1991年美國海軍研究實驗室采用單橢圓鍍銀腔,晶體直徑5mm,長度67mm,Cr3+、Tm3+、Ho3+濃度分別為0.8at%、6.0at%、0.4at%,氙燈充氣壓450Torr,閃光燈內(nèi)徑5mm,閃光燈弧長63mm,閃光燈脈寬290μs,諧振腔長度為290mm,全反鏡曲率半徑為0.5m,輸出鏡透過率20%,水溫20oC,重頻1Hz時,得到最佳斜率效率。同時,研究了調(diào)的特性,發(fā)現(xiàn)開關(guān)的Cr,Tm,Ho:YAG效率幾乎比長脈沖Cr,Tm,Ho:YAG低一個數(shù)量級,得到了2.121μm增益系數(shù)為0.07cm-1,估計調(diào)在2.121μm的增益系數(shù)為0.02~0.07cm-1[9]。
  1994年W.Zendzian等人報道了閃光燈泵浦的Cr,Tm,Ho:YAG激光器。注入能量110J時,得到了17W的輸出,斜效率為2%,同時從理論和實驗上驗證了熱焦距對M2參數(shù)的影響[10]。
  1998年Yoichi等人報道了在溫度10oC,泵浦能量密度85.9J/cm3,得到了Cr,Tm:YAG和Cr,Tm,Ho:YAG的最大小信號增益系數(shù)分別為0.144cm-1和0.234cm-1[11]。
  2000年Cheng Li等人報道了采用閃光燈泵浦Cr,Tm,Ho:YAG晶體,在自由運轉(zhuǎn)模式下,室溫獲得了4.5J的激光輸出,輸出波長2.098μm,斜率效率2.7%,閾值能量95J;在聲光調(diào)方式下,室溫下單模輸出大于530mJ,脈沖寬度165ns。晶體直徑為4mm,長度100mm,晶體中Cr3+、Tm3+、Ho3+的含量分別為1.2at%、6.1at%、0.4at%[12]。
  在醫(yī)用鈥激光器的研究開發(fā)方面,美國相干公司等單位居領(lǐng)先地位,1990年向用戶提供了第一臺醫(yī)用鈥激光治療機,如今已開發(fā)出平均功率為20W、60W和100W三種單波長型號,相應(yīng)重復(fù)頻率分別為5-20Hz、5-40Hz和5-50Hz,相應(yīng)單脈沖能量分別為0.5-2.5J、0.2-3.5J和0.2-3.5J,相應(yīng)的平均功率設(shè)置分別為2J/10Hz、1.5J/40Hz和2J/50Hz,脈沖持續(xù)時間為500μs。此外,還有80/100W 的雙波長Holmium&Nd:YAG激光器,重復(fù)頻率為5-40Hz,單脈沖能量為0.2-3.5J,相應(yīng)的平均功率設(shè)置為2J/40Hz,脈沖持續(xù)時間為500μs。這些構(gòu)成了Versa Pulse PowerSuiteTm系列鈥激光器。

美國Trimedyne公司開發(fā)的鈥激光治療機,平均功率有30W和80W兩種。對于30W的鈥激光治療機,單脈沖能量為0.2-3.5J,重復(fù)頻率為5-20Hz,脈沖持續(xù)時間為350μs。而80W鈥激光治療機采用獨特的雙脈沖技術(shù),能夠傳遞更多的能量到硬組織,同時盡量減少對周圍軟組織的損傷。其單脈沖能量為0.2-3.5J,重復(fù)頻率為5-60Hz,雙脈沖模式下,單脈沖有效能量為0.4-7J,重復(fù)頻率為3-30Hz,脈沖持續(xù)時間為350μs。
 
  3、國內(nèi)2μm波段固體激光材料及激光器的發(fā)展狀況
  1991年起電子部11所展開了鈥激光晶體研究工作。采用感應(yīng)加熱提拉法生長Cr,Tm,Ho:YAG晶體,解決了高效率Cr3+→Tm3+→Ho3+能量轉(zhuǎn)移和高光學(xué)質(zhì)量晶體生長工藝等一系列關(guān)鍵技術(shù)。激光棒主要技術(shù)指標達到:干涉條紋0.3條/25mm,無散射顆粒,單脈沖輸出能量2.3J。
  1995年華中理工大學(xué)的葉洪波等人研制出了在室溫下Ho:YAG激光器輸出的能量3J。實驗中所用到的泵浦方式為脈沖氙燈泵浦,聚光腔是鍍銀單橢圓腔,冷卻方式為對冷卻水進行恒溫控制,其溫度浮動范圍為10±5oC。實驗采用國產(chǎn)棒尺寸為φ5×93mm,諧振腔為平凹腔,腔長280mm。全反鏡為曲面鏡,曲率為1m。輸出鏡為平面鏡,在輸出鏡透過率為29%,冷卻溫度為9oC,放電脈沖半寬度為360μs,激光器閾值為98.4J,單脈沖輸出在3J以上。 1997年中國計量學(xué)院光電子研究所的黃莉蕾等人,使用國產(chǎn)晶體Cr3+(2.3×1020cm-3),Tm3+(8.2×1020cm-3), Ho3+(5.4×1020cm-3):YAG。尺寸為φ6×100mm,采用單燈相交圓柱聚光腔,內(nèi)壁貼Ag箔拋光。諧振腔為平凹腔,輸出鏡曲率半徑為5m,透過率為25%,全反鏡對2.1激光反射率大于98%。用氣壓為2×105Pa的氙燈泵浦,頻率1Hz,冷卻水溫18~22oC,激光閾值為73~84J,獲得斜率效率為2~4%,單脈沖能量為0.8~1.4J [13]。
  1997年,安徽光機所的陳長水等人進行了開關(guān)Cr,Tm,Ho:YAG激光器的實驗研究,獲得了單脈沖能量60mJ的2.1μm的穩(wěn)定調(diào)激光輸出,通過倍頻途徑測得了其倍頻光(1.05μm)的脈沖半寬度35ns[14]。
  安徽光機所魯士平課題組研制的HJZ-1-10型鈥激光治療機于1997年12月在杭州通過了國家醫(yī)藥管理局用光學(xué)、激光、冷療設(shè)備質(zhì)量檢測中心的新產(chǎn)品注冊檢測。經(jīng)過高溫55篊、低溫-40oC、濕度93%以及電絕緣強度等多種環(huán)境實驗的嚴格檢測,兩臺醫(yī)用鈥激光器所達到的指標為:脈沖重復(fù)頻率為4~10Hz分檔可調(diào),輸出平均功率為14W左右,輸出功率的不穩(wěn)定度為±2.0%,傳輸光纖的耦合效率大于65%。目前,這兩臺鈥激光治療機正在醫(yī)院里進行臨床應(yīng)用研究[15]。 如上所述,目前國內(nèi)的鈥激光治療機,輸出平均功率14W左右,遠遠低于國外水平,不能滿足醫(yī)學(xué)臨床治療要求。
 
  4、醫(yī)用Cr,Tm,Ho:YAG激光器的特點
  人體組織中水的比例大約占70%,因而組織對光的吸收情況與水相似。水在中紅外波段有兩個強的吸收譜帶,分別為2.5~4.0μm和5.6~10μm。因此,當激光與人體組織相互作用時,水對所用激光吸收系數(shù)的大小就決定了激光在組織中的穿透深度、損傷區(qū)域以及手術(shù)精度等Nd:YAG激光器的波長為1.06μm,可以用石英光纖傳輸,在醫(yī)療方面有不少應(yīng)用。但是,由于水對它的吸收僅為0.1cm-1,在有些外科手術(shù)中,它的穿透深度較深,損傷區(qū)域較大,手術(shù)精度不高,因此不宜使用。Er:YAG激光波長為2.94μm,水對它的吸收為3000cm-1,屬水的強吸收波段。對醫(yī)療應(yīng)用來說,鉺激光器是一個十分理想的光源,然而令人遺憾的是:鉺激光不能用石英光纖傳輸,能夠傳輸鉺激光的非石英光纖容易斷裂,防礙其臨床應(yīng)用。 Ho:YAG激光波長為2.1μm,位于水較強吸收譜線。水對其吸收約為25cm-1,是水對Nd:YAG激光吸收的250倍。顯然,水對Ho:YAG激光的強吸收使其可以在大部分軟組織和硬組織中產(chǎn)生淺的穿透深度、高的手術(shù)精度和獨特的凝血作用,大大限制了損傷區(qū)域。在未來幾年中,它將逐步取代Nd:YAG激光器。雖然水對鈥激光的吸收只是水對鉺激光吸收的一百二十分之一,然而鈥激光能用低OH-的石英光纖傳輸,這就使鈥激光能有效地工作在氣體和液體環(huán)境中,為醫(yī)生切除軟骨和其它硬組織提供精確的途徑,使鈥激光成為現(xiàn)有激光內(nèi)窺鏡系統(tǒng)中最適宜的光源[37]。鈥激光在軟組織中的外科手術(shù)精度與CO2激光相比較,可能略低于CO2激光的手術(shù)精度,然而它能為大部分組織提供更好的凝血功能。除此之外,二者之間的最大區(qū)別是CO2激光不能用石英光纖傳輸,只能借助于笨重的關(guān)節(jié)臂來導(dǎo)光,十分不便;而能用光纖傳輸?shù)拿}沖鈥激光則是切除和燒蝕軟骨以及其它硬的鈣化的組織的有效工具。因此有人稱鈥激光對于CO2激光來說具有挑戰(zhàn)性,在某些手術(shù)中鈥激光具有取代CO2激光的潛力。
 
  5、大功率鈥激光器技術(shù)方案的提出
  根據(jù)上述鈥激光器在醫(yī)療中的具體應(yīng)用,我們提出了一種實現(xiàn)大功率輸出的燈泵鈥激光器實用化方案:對單路電源的放電信號進行分頻處理,在軟硬件上實現(xiàn)單路電源改造成具有多條放電回路并且輪流等時間間隔工作的多路電源,最終實現(xiàn)一臺電源供兩路或四路Cr,Tm,Ho:YAG激光器輪流等時間間隔工作的設(shè)想。在水溫0oC,單脈沖注入能量100J,重頻20Hz時,雙路Cr,Tm,Ho:YAG激光器直接輸出功率有望突破35W,合光路后光纖末端輸出功率25W。該設(shè)計方案為同類激光器的研究與應(yīng)用提供了有利參考,具有一定的指導(dǎo)意義。

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